基板ＦＡＱ　～なんかへんだぞこの基板～

【事例004】基板表面に傷がついてしまった

レジスト表面にうっすら傷がついてしまっている。

レジストにつく傷には様々な原因がありますが、今回の場合乾燥用のラックにおいて基板間に十分にスペースがなかったことと、乾燥が十分でないにも関わらず作業してしまったことが原因です。

取り扱いを注意するという抽象的な方法ではこの手の問題は対策したとは言えません。例えば、基板間がぶつからないように十分な間隔を取るなど、そもそもミスが起こりえない抜本的な方法を検討します。

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