基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 白い基板の表面に緑色の汚れが付着してしまっている。
緑色の汚れということで、異物の正体はレジストとして最も利用される緑色のレジストインクであると分かります。本件の汚れは、レジスト印刷機に付着したレジストの清掃が不十分であったために、緑のレジスト基板を印刷した後に白レジストを印刷すると周囲の汚れインク片が付着して緑点となったことが原因です。
レジスト印刷機の清掃が規定化されていなければ、まずはそれを実施します。本件の対応ということだけであれば、「レジストインクの色が変わる度に清掃を実施」としてしまいそうですが、レジスト印刷機の清掃の規定は「基板の種類が変わる毎に実施する」とするべきです。こうすることで、作業から清掃までが一連の工程として標準化され、作業者が変更しても品質に影響が出にくくなります。本件のような場合では比較的発見が容易ですが、中には同系色の汚れもあることから、基板検査はしっかりと４方から光を当ててチェックをする必要があります。
【事例042】レジストに緑の汚れがついてしまっている
