基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 写真のように円形に露銅してしまっている。
露銅については、まずレジストに傷があるかどうかで発生工程を大きく切り分けることができます。本件のようにレジストに傷が無いものは、レジスト露光時にフィルムに異物が付着してレジストが露光されなかったために現像時にレジストが落ちてしまったことが原因です。ちなみに本件は次の【事例045】とセットで確認してください。
クリーンルームの運用の徹底につきます。ゴミはもちろんですが、フィルムは作業前に静電ローラーで清掃するなど作業標準を順守するよう指導する必要があります。
【事例044】円形に露銅している
