基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 写真のようにレジストをえぐるように傷がついて露銅している。
前の事例と同様に、レジストに傷があるかどうかで発生工程を切り分けます。今回は傷がついていますので、露光ではなくレジスト現像後についた傷になります。ちなみに本件は前の事例の【事例044】とセットで確認してください。
基板のハンドリング（取り置き）は傷をつけてしまうリスクの高い作業です。基板の持ち方やラックの取り扱いなどを標準化するのはもちろんのこと、プラスチックシートを利用して基板に傷がつきにくい仕組みにするなどの対応が必要です。
【事例045】レジストをえぐるように露銅している
