基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 写真のようにぱっとに緑のレジストが付着してしまっている。
不良サンプルより分析した結果、パットに付いたレジストは、レジスト工程にてレジストを印刷後の露光工程において付着したものと考えられます。付着したタイミングですが、レジスト現像後乾燥前に、基板をラックに挿入する工程においてラックに有る残留のレジストが基板に付着したものでした。
ハンドリングについては、基板と基板の接触に注意が行きがちですが、ラックを起因とした人為不良もケースとしては多いものです。基板をラックに挿入する前に、ラックに異物或はレジストが有るかを確認することはもちろん、乾燥前工程のようにレジストの付着が想定される工程で利用するラックは仕様のたびに清掃することを作業標準とすることが重要です。
【事例057】パットにレジストが付着している
