基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 写真のようにパッド間のレジストが欠けて基材が見えてしまっている。
パッド間のレジストは非常に作成が難しいところがあります。今回のケースでは、露光した光が不十分であったためにパットが一部固まり切らず。その後の工程で削れてしまったことが原因でした。
本事象を回避することだけを目的とするといろいろ方法はありますが、最も簡易な対応策は光を強くすることです。光を強くすることで光の通りを抑止、硬化を強めることが可能です。レジストを薄くして光の通りを良くしたり、レジストの色を光を通しやすいものに変えたりすることが考えられます。１００μm以下の微細なパターンであれば露光機を散乱光のものから平行光のものへ変更するといった方法も考えられます。また、思い切ってパッド間のレジストを行わずに間を逃げとしてしまうことも対応方法の一つです。しかしながらどの対応方法もデメリットがあるため、基板の特性に合わせて合理的な対処策を検討しなければなりません。
【事例065】パッド間のレジストが欠けている
