基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 基板に写真のようにうっすらと白い模様がついてしまっている。
この模様は、基板を傾けてみると反射して見えます。この特性からシルクではなく、レジスト露光フィルムの圧痕が原因です。圧痕がついてしまった原因としては、レジストの露光時に真空圧力が強すぎたことが原因です。
真空圧力を下げることが必要です。但し、露光時の真空化は露光制度を挙げる際に必要な措置ですので下げすぎは不要です。チェック工程でAVIをきちんと採用するなど、流出防止策を講じながら適切な圧力で製造する必要があります。
【事例069】基板にうすい模様がある
