基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 基板に糸くず上のごみがついてしまっている
不良写真をみると、異物は糸状のものである事が分かります。また異物の入り込み方を見てみると、異物はソルダーレジスト層のさらに下層に付着していることも分かります。上記の点からレジスト工程以前に発生した異物が原因であると考えられます。本件については、当該工程以前の現場を確認した結果、レジスト工程へ基板を運搬する際、基板収納ケースに基板を平置きしていますが、最上面の基板に、PPと呼ばれる異物付着防止用のカバーをしないケースが発生していたことが判明しました。本異物は平積みされた基板が、保護をされていなかったために外部と接触し、異物が付着したことが原因です。
基板の取り置き、ハンドリングは物理的な不良が最も発生する局面です。対策としてはレジスト工程へ基板を運搬する基板収納ケースに平置きした基板の最上面にＰＰでカバーする事を手順書及び作業指導を実施し、継続してチェックすることが必要です。
【事例072】基板に異物が入り込んでいる
