基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 写真のまるで囲った部分が露銅してしまっている
写真を確認すると、今回の不良はレジストが乾燥する前に発生した症状であることが分かります。そこで、本基板の作成工程におけるレジスト乾燥工程以前の現場を確認した結果、レジスト工程の直後に乾燥用ラックへ収納しますがその際に、一部の作業員が基板を片手で保持し乾燥ラックの凸部へ収納しているケースがありこういった作業の過程で基板表面がラックと接触するリスクがありました。今回の露銅は、半乾燥状態のインクにラックの凸部が接触してしまった事でインクが剥がれ落ちてしまったものでした。
レジスト工程直後の乾燥用ラックへ収納する工程において、基板を片手で持つことを禁止しました。基板を片手で扱う作業は両手で扱うのに比べて物理的な接触のリスクが高まりますので、明文化する必要があります。加えて、現場責任者にも1日/2回の現場パトロールにおいて当該作業状況の継続確認を義務付けました。
【事例074】露銅している（２）
