基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 基板に糸状の屑が付着してしまっている
異物をよく見るとレジストでコーティングされていることが分かります。よってこの異物はレジスト工程より前で付着したものです。調査を進めると、レジストの印刷版の清掃が不十分であり、版に微細なごみが付着してしまっていることが分かりました。本不良についてはこの付着したゴミが基板側に残ってしまったことによって発生したものです。
レジスト版には清掃の規定がありますので、その順守が必要です。単純な期間だけではなく使用頻度も紙をしなければ集中して使用したときに思わぬ異物が付着する原因となりかねません。基板はとにかく徹底して清掃することで不良リスクを低減させることが可能です。
【事例076】基板に異物が付着している
