基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 写真のようにシルク・レジストの下地付近に円形上の異物が混入している
写真を見ると、異物はレジスト内部でなく上部に付着をしており、シルクの下部に位置していることが分かります。ここからレジスト塗布の工程以降でシルク印刷前までの工程で異物が付着してしまったことが分かります。本件の場合、異物はレジストの本感想を行う乾燥炉の中で熱風に吹かれた炉内の異物が基板に付着したものと分かりました。
乾燥炉は異物混入の恐れがあるため、定期的に清掃をする必要があります。通常は24Hもしくは12Hごとに清掃を実施することが多いですが、炉内のゴミは時間ではなく乾燥度の稼働状況によって蓄積の頻度がことなります。今回の場合は、乾燥炉の稼働状況によらず一定の頻度で清掃をしていたため、乾燥炉の稼働状況が上がった際には清掃の頻度を上げるとともに清掃の方式についても今一度標準化することで再発を防止しました。
【事例080】基板に異物がある
