基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- パッドの一部が欠けた形状になっている
今回の原因は露光不良です。レジスト印刷工程の作業台面に基材のカスが当該箇所に附着した状態でレジスト印刷を実施し、その後、露光工程のフィルム貼り付けの際も基材カスが付着した状態であった事で露光不良となり現像後当該症状に至ったものでした。また、基材屑は基板の運搬時に利用するラックにて基材がこすれた際に出たものであると分かりました。
対策としては基材屑を出さないようにすることが大事です。ハンドリングの標準化はもとよりですが、ラックの収納の標準化も重要です。今回の場合、１ケースに２０パネル納入可能なラックを利用しておりましたが、２０パネル納入では基材接触のリスクもあることから、１パネルおきに納入する方式に変更しました。レジスト印刷工程はクリーンルームで行うため、ゴミのない環境ではありますが、基板の不良になるようなゴミはクリーンルームでは感知できない数十μ程度のゴミも多くなるため、クリーンルームの作業環境を徹底するのはもちろんの事並行して基板の不良となるようなごみの発生が工程内で発生しないか確認することも必要です。
【事例082】パッドが欠けている
